臭氧產生的機理（lǐ）表明.對於一次微放電，存在一種能（néng）最分布，使得這種（zhǒng）微（wēi）放電產生臭氧最有效（xiào）。在無（wú）聲（shēng）放電中，當氧原子濃度超過一定位時，效率下降，但是（shì）當放電（diàn）張度太低，離子（zǐ）消耗能最上升，能最利用率也會降低。

　　在沿麵放電的放電通逆裏，山於存在著很強的垂直於放電通道的電場，帶電粒（lì）子的運（yùn）動將與其它（tā）放電形式中帶電粒子的（de）運動大不相同，粒子的擴（kuò）散也不同於空間的（de）自由擴散（sàn）。這種運動與擴散（sàn）的結果有可能使氧原子（zǐ）以及臭氧（yǎng）分子迅速脫離放電（diàn）通道的（de）高密度粒子區域，相當於獲得了一種大半徑的微放電通道，在這一通迸裏，氧原子濃度適中，電子能量較人，臭（chòu）氧的初始濃度也相對較低，因而（ér）有利於臭氧形成。尤其突出的優點是。山於放電特性（xìng）隨電源的頻率而發（fā）生連續的（de）變化，沿麵放電的微放電通道相（xiàng）對來（lái）說有更（gèng）人（rén）的變化範圍並且較易受到控製，從而可以找到一（yī）種合適的放電參數，提高臭氧的產量效率。